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一种体声波谐振器及滤波器
申请人信息
- 申请人:武汉敏声新技术有限公司
- 申请人地址:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
- 发明人: 武汉敏声新技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种体声波谐振器及滤波器 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420433144.5 |
| 申请日 | 2024/3/5 |
| 公告号 | CN222283219U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H03H9/17 |
| 权利人 | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 发明人 | 代金豪; 皮本松; 李晓龙; 王健; 孙博文; 孙成亮 |
| 地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号 |
摘要文本
武汉敏声新技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请公开了一种体声波谐振器及滤波器，涉及半导体器件技术领域，本申请的体声波谐振器，包括衬底以及依次设置于衬底上的下电极、压电层和上电极，衬底的上表面内凹形成空腔，空腔、下电极、压电层以及上电极在层级方向投影重合的区域为有效谐振区域，上电极上设置有声反射结构，声反射结构包括沿有效谐振区域边缘设置的多个反射柱。本申请提供的体声波谐振器及滤波器，能够在提升品质因数的同时降低寄生谐振。
专利主权项内容
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的下电极、压电层和上电极，所述衬底的上表面内凹形成空腔，所述空腔、所述下电极、所述压电层以及所述上电极在层级方向投影重合的区域为有效谐振区域，所述上电极上设置有声反射结构，所述声反射结构包括沿所述有效谐振区域边缘设置的多个反射柱。