一种陶瓷加热盘电极引出结构

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江苏实为半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种陶瓷加热盘电极引出结构，包括本体组件和电极引出组件，所述本体组件包括陶瓷盘和下壳体，所述陶瓷盘安装于下壳体上，所述陶瓷盘和下壳体之间形成有空腔；所述电极引出组件设置有一对，一对所述电极引出组件均安装于陶瓷盘和下壳体之间的空腔内，所述电极引出组件包括螺纹管，所述螺纹管安装于陶瓷盘的底部侧壁上。本实用新型通过螺纹管与加热盘连接，螺纹管轴向留有缺口，可以吸收螺纹管受热产生的膨胀应力，避免螺纹管连接后由于热应力胀裂加热盘；同时螺纹管与螺纹槽连接不会产生密闭空间，螺纹槽内外气压平衡，不会产生空气压差，从而避免加热盘胀裂；并且本连接结构连接牢固，抗拉拔力强，且可以更换，方便后期维护。