刻蚀装置

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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种刻蚀装置，包括装置本体、安装组件和驱动机构，装置本体具有刻蚀腔，刻蚀腔内具有刻蚀区，装置本体能够沿第一方向向刻蚀区注入等离子体；安装组件设于刻蚀腔内，安装组件用于固定或者定位待刻蚀的电路板于刻蚀区；驱动机构与安装组件驱动连接，驱动机构用于驱动安装组件在刻蚀腔内转动，以使安装组件上的电路板能够切换部位朝向第一方向。通过这样的设置可有效的避免靠近注入区的电路板的第一侧过度刻蚀，而远离注入区的电路板的第二侧刻蚀不足的情况出现，使得固定或者定位于安装组件的电路板可在驱动机构的驱动下切换不同侧的部位朝向注入区，实现均匀刻蚀的效果。