晶圆载台支撑盘

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泰微科技(珠海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆载台支撑盘，包括：盘体，其中心设有安装孔，并在其顶面设有第一气槽和环绕在第一气槽外周的下密封面；中心体，安装于所述安装孔内，且能够沿安装孔轴线移动，所述中心体的上端设有第一定位凸部，所述中心体上设有第一导孔和气道；密封圈，设置在所述中心体与所述盘体之间；以及间隙调节机构，设置在所述中心体与所述盘体之间，用于调节中心体的顶面与所述盘体顶面之间的间距。支撑盘采用分体式结构设计，结合间隙调节机构，允许对中心体与载盘之间的间隙进行微调，实现高精度控制。这种创新不仅显著提升了载台的密封效果，还确保了载盘高度位置的极高稳定性，使得晶圆测量精度大幅提升。