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Micro-LED外延结构及器件
申请人信息
- 申请人:江苏第三代半导体研究院有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室
- 发明人: 江苏第三代半导体研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | Micro-LED外延结构及器件 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420732301.2 |
| 申请日 | 2024/4/10 |
| 公告号 | CN222051800U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L33/02 |
| 权利人 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
| 发明人 | 闫其昂; 王国斌 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 |
摘要文本
江苏第三代半导体研究院有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种Micro‑LED外延结构及器件。外延结构包括第一氮化物层、氮化物有源层和第二氮化物层；第一氮化物层包括第一亚层和第二亚层，和/或，第二氮化物层包括第三亚层和第四亚层；第一亚层与第二亚层之间和/或第三亚层与第四亚层之间设置有图形结构；图形结构设置于第二亚层的边缘且与第一亚层相接，和/或，图形结构设置于第四亚层的边缘且与第三亚层相接；图形结构内侧壁具有远离第二亚层或第四亚层的中心的形状变化，以使得第二亚层和/或第四亚层具有横截面宽度变大的形状变化。本实用新型所提供的外延结构通过图形结构避免了载流子的侧壁扩散，改善了漏电性能，提高了发光效率。
专利主权项内容
1.一种Micro‑LED外延结构，包括沿外延方向依次层叠设置的第一氮化物层、氮化物有源层和第二氮化物层；其特征在于，所述第一氮化物层包括沿所述外延方向依次层叠的第一亚层和第二亚层，和/或，所述第二氮化物层包括沿所述外延方向依次层叠的第三亚层和第四亚层；所述第一亚层与第二亚层之间和/或所述第三亚层与第四亚层之间设置有图形结构；
所述图形结构设置于所述第二亚层的边缘且与所述第一亚层相接；和/或，所述图形结构设置于所述第四亚层的边缘且与所述第三亚层相接；
其中，所述图形结构具有相背的外侧壁和内侧壁，所述内侧壁面向所述第二亚层和/或第四亚层；且沿所述外延方向，所述内侧壁具有远离所述第二亚层或第四亚层的中心的形状变化，以使得所述第二亚层和/或第四亚层具有横截面宽度变大的形状变化。