一种等离子体激发装置

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成都奋羽电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种等离子体激发装置，属于微波技术领域，包括矩形波导、谐振腔体和梯度折射率超材料；所述矩形波导右端设有微波馈入口，左端设有金属屏蔽板；所述谐振腔体为一端开口的矩形腔体；所述谐振腔体的开口端和所述矩形波导其中一侧壁连通，且所述谐振腔体位于远离所述微波馈入口一端；所述矩形波导和所述谐振腔体连接处设有梯度折射率超材料，所述梯度折射率超材料用于隔开相互连通的矩形波导和谐振腔体；所述梯度折射率超材料的介电常数沿微波传输方向逐渐增大；所述谐振腔体两侧分别设有进气口和出气口。本实用新型能有效解决传统微波等离子体激发装置需要自动阻抗调配器，导致结构复杂且价格昂贵的问题。