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颗粒过滤器及包含其的真空蒸发源
申请人信息
- 申请人:艾尔法普拉斯株式会社
- 申请人地址:韩国忠清南道
- 发明人: 艾尔法普拉斯株式会社
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 颗粒过滤器及包含其的真空蒸发源 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420472262.7 |
| 申请日 | 2024/3/12 |
| 公告号 | CN222056787U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | B01D46/64 |
| 权利人 | 艾尔法普拉斯株式会社 |
| 发明人 | 赵汉烈; 林泰均; 裵基亨; 金镇熙; 文光男; 李相勋; 千珷宁 |
| 地址 | 韩国忠清南道 |
摘要文本
艾尔法普拉斯株式会社取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型揭示一种能防止灰烬或颗粒形态的蒸镀材料的氧化物喷射到喷嘴外的颗粒过滤器。所述颗粒过滤器包括：过滤器壳体；下网眼板，配置在过滤器壳体内；复数个珠子(bead)，配置在下网眼板上；上过滤板，配置在复数个珠子上，结合到过滤器壳体。。搜索
专利主权项内容
1.一种颗粒过滤器，其配置在收容蒸镀材料的坩锅的内部，其特征在于，
包括：
过滤器壳体；
下网眼板，配置在所述过滤器壳体内；
复数个珠子(bead)，配置在所述下网眼板上；
上过滤板，配置在所述复数个珠子上，结合到所述过滤器壳体。