一种TEOS溶液加料装置

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赛姆柯(苏州)智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种TEOS溶液加料装置，装置包括第一罐体、第二罐体、第一管路、第二管路、开关，第一罐体内容纳有TEOS溶液，第一罐体上开设有可视化窗口；第二罐体内存储有TEOS溶液，第二罐体与第一罐体通过第一管路连通，第一管路上设置有第一阀门，开关与第一阀门连接；第二管路一端与第二罐体连通，第二管路另一端用于与大气连通，第二管路上设置有第二阀门，第二阀门用于控制第二管路的通断。本实用新型提供的TEOS溶液加料装置，通过设置第一罐体、第二罐体、第一管路、第二管路、开关，补液操作安全可靠，无环境污染，确保半导体行业的洁净度。