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涂布设备
申请人信息
- 申请人:湖北江城芯片中试服务有限公司
- 申请人地址:430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼3号(自贸区武汉片区)
- 发明人: 湖北江城芯片中试服务有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 涂布设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420334318.2 |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN222057922U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | B05C13/02 |
| 权利人 | 湖北江城芯片中试服务有限公司 |
| 发明人 | 邵想; 齐鹏博; 王念牧; 吴星星; 王思豪 |
| 地址 | 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼3号(自贸区武汉片区) |
摘要文本
湖北江城芯片中试服务有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本公开实施例提供了一种涂布设备，涂布设备包括：基台，基台用于承载待处理晶圆并可进行旋转操作，位于基台上方的排气装置，排气装置至少包括沿竖直方向上延伸的第一管路，第一管路的侧壁上设置有至少一个排气口，排气口用于向平行于待处理晶圆的表面的方向提供均匀的气流。
专利主权项内容
1.一种涂布设备，其特征在于，所述涂布设备包括：
基台，所述基台用于承载待处理晶圆并可进行旋转操作；
位于所述基台上方的排气装置，所述排气装置至少包括沿竖直方向上延伸的第一管路，所述第一管路的侧壁上设置有至少一个排气口，所述排气口用于向平行于所述待处理晶圆的表面的方向提供均匀的气流。