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一种半导体机台的治具结构及清洁治具
申请人信息
- 申请人:合肥晶合集成电路股份有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 发明人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体机台的治具结构及清洁治具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420043550.0 |
| 申请日 | 2024/1/8 |
| 公告号 | CN222058215U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | B08B1/30 |
| 权利人 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 发明人 | 李斌斌; 孙洪星; 吴琪林; 陈建龙 |
| 地址 | 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号 |
摘要文本
合肥晶合集成电路股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种半导体机台的治具结构及清洁治具，包括连接板；侧清洁板，与连接板相连；主清洁板，与连接板滑动连接，且侧清洁板与主清洁板相对设置；以及驱动机构，设于连接板上，且与主清洁板相连，驱动机构驱动主清洁板靠近或远离侧清洁板；其中，侧清洁板与主清洁板之间形成清洁槽道，且清洁槽道与半导体机台的导轨贴合。通过本实用新型公开的一种半导体机台的治具结构及清洁治具，能够提高半导体机台导轨的清洁效果，并提高半导体机台导轨的清洁效率，从而降低工作人员的工作强度。 马-克-数据
专利主权项内容
1.一种半导体机台的治具结构，其特征在于，包括：
连接板；
侧清洁板，与所述连接板相连；
主清洁板，与所述连接板滑动连接，且所述侧清洁板与所述主清洁板相对设置；以及
驱动机构，设于所述连接板上，且与所述主清洁板相连，所述驱动机构驱动所述主清洁板靠近或远离所述侧清洁板；
其中，所述侧清洁板与所述主清洁板之间形成清洁槽道，且所述清洁槽道与所述半导体机台的导轨贴合。