一种真空炉

摘要文本

中科同帜半导体(江苏)有限公司; 北京中科同志科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及真空炉技术领域，提供一种真空炉，包括：上盖组件、下腔体、至少一个升降机构、至少一个MEMS组合治具、至少两个冷却管、至少一个加热管、隔热组件和内胆；所述上盖组件的上盖和所述下腔体形成密封真空腔体，所述升降机构设置在所述下腔体的下方，所述加热管设置在所述下腔体的内部，所述内胆设置在所述下腔体的内部并且设置在所述加热管的下方，所述隔热组件设置在所述下腔体的两侧，所述隔热组件的隔热板在所述下腔体内水平方向往复运动，所述MEMS组合治具设置在所述冷却管上。解决了现有的真空炉焊接MEMS的焊接效果不好并且成本高的问题。