一种除尘效果好的半导体打磨设备

专利主权项内容

1.一种除尘效果好的半导体打磨设备，包括操作台(1)、支撑板(2)以及支架(3)，其特征在于：所述支撑板(2)固设与操作台(1)内部下端，所述支架(3)固设于操作台(1)顶部，所述操作台(1)内部顶端一体设置有矩形槽(4)，所述支架(3)内部设置有打磨组件(5)，所述支撑板(2)顶部设置有除尘组件(6)，所述打磨组件(5)包括固设于支架(3)顶部的第一电动推杆(501)，所述第一电动推杆(501)的首端贯穿于支架(3)顶部，所述第一电动推杆(501)的底部固设有电机(502)，且电机(502)底部固设有打磨片(503)，所述除尘组件(6)包括固设于支撑板(2)顶部的盒体(601)，盒体(601)顶部固设有除尘气泵(602)，所述盒体(601)顶部左侧固定贯穿有泄压阀(603)，所述操作台(1)顶部中端固设有圆环(604)，圆环(604)内部一体设置有排气孔(605)，所述除尘气泵(602)顶部固设有Y型管(606)。