一种研磨液二合一供液器组

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磬宇(苏州)半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及化学品设备技术领域，特别是涉及一种研磨液二合一供液器组，包括供液基座，一体式设于供液基座两端、连通供液基座设置的出液接口和进液接口，进液口在供液基座上设有两组，两组进液口分别为设于出液接口对侧的底液口、和延伸出供液基座设置的侧液口，且底液口和侧液口之间夹角呈锐角设置，通过一体式设于供液基座两端、连通供液基座设置的出液接口和进液接口，能够实现一个供液点供出两种研磨液，解决了原有机台供液装置落点多、研磨效率无法保证、无法混合研磨液、且易回流造成污染，使研磨液可以同时供出，进而提升研磨效率和良率。