← 返回列表

一种半导体行业混合物料定量出料装置

申请号: CN202421022358.X
申请人: 浩光科技有限公司
更新日期: 2026-05-05

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种半导体行业混合物料定量出料装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202421022358.X
申请日 2024/5/11
公告号 CN222240110U
公开日 2024/12/27
IPC主分类号 B01F35/75
权利人 浩光科技有限公司
发明人 聂磊森; 白东东
地址 陕西省西安市莲湖区汉城南路62号陕西省印刷科学技术研究所办公楼2层6号

摘要文本

浩光科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种半导体行业混合物料定量出料装置,所述装置包括缓存罐、搅拌机构、雷达液位计、螺杆泵、质量流量计、电动比例调节阀、循环管路以及出料管;所述缓存罐上设置有用于检测罐内物料液位的雷达液位计,所述缓存罐底部设置有出料口,所述出料口连接所述螺杆泵的入口,所述螺杆泵的出口连接所述循环管路的一端,所述循环管路的另一端连接缓存罐上方的循环物料进口,所述质量流量计设置在所述循环管路上,所述出料管连通所述循环管路,所述出料管上设置有电动比例调节阀。本申请采用流量控制为主,液位控制控制为辅,可综合利用流量和液位两个参数来实现更精确的缓存罐定量出料。

专利主权项内容

1.一种半导体行业混合物料定量出料装置,其特征在于,所述装置包括缓存罐、搅拌机构、雷达液位计、螺杆泵、质量流量计、电动比例调节阀、循环管路以及出料管;
所述搅拌机构包括搅拌电机、搅拌轴以及搅拌叶片,所述搅拌电机设置在所述缓存罐的上方,所述搅拌轴以及搅拌叶片设置在所述缓存罐内,所述搅拌电机连接所述搅拌轴,所述搅拌叶片设置在所述搅拌轴上;
所述缓存罐上设置有用于检测罐内物料液位的雷达液位计,所述缓存罐底部设置有出料口,所述出料口连接所述螺杆泵的入口,所述螺杆泵的出口连接所述循环管路的一端,所述循环管路的另一端连接缓存罐上方的循环物料进口,所述质量流量计设置在所述循环管路上,所述出料管连通所述循环管路,所述出料管上设置有电动比例调节阀。