一种用于真空离子釜的抽真空装置

专利主权项内容

1.一种用于真空离子釜的抽真空装置，包括离子釜(1)，其特征在于：所述离子釜(1)的底部固定连接有支脚(101)，所述离子釜(1)的一侧固定连接有第一连接管(102)，所述第一连接管(102)的外表面活动连接有固定壳(2)，所述固定壳(2)的内表面活动连接有中置管(3)，所述中置管(3)内表面的两侧固定连接有外伸套(301)，所述外伸套(301)的外表面固定连接有密封垫(302)，所述外伸套(301)两侧的中部开设有安装槽(303)，所述安装槽(303)的内表面设有弹簧(305)，所述弹簧(305)的另一侧固定连接有阻塞垫(306)，所述固定壳(2)内表面的一侧活动连接有第二连接管(4)，所述第二连接管(4)的底部固定连接有过滤箱(401)，所述过滤箱(401)的一侧设有电机(5)，所述过滤箱(401)的内表面活动连接有搅拌叶(502)。 数据由马 克 数 据整理