具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器

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天津大学取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器，具体涉及多晶硅生产领域；设备装置包括氢化反应器、电加热器、换热器、硅粉过滤器，装置设有降温除尘段。本装置在氢化反应器外部安装一个外层夹套，与氢化反应器壳体形成环腔，腔体与降温除尘段系统连接形成自身循环结构；降温除尘段设置小流量的反应后混合气体采出管线，依次连接空冷器、换热器、气液分离器、活性炭吸附柱，最后连接氢化反应器的环腔底部；氢化反应器与空冷器之间设有爆破片。通过自身循环结构可以保持氢化反应器与环腔内压力始终一致，实现压力自适应的功能，减小氢化反应器壳体所受应力。本实用新型的氢化反应器外层夹套采用低价材质，大幅度节约材料成本。