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基板分类器及用于检查和分类基板的系统
申请人信息
- 申请人:应用材料公司
- 申请人地址:美国加利福尼亚州
- 发明人: 应用材料公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基板分类器及用于检查和分类基板的系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323257774.6 |
| 申请日 | 2023/11/30 |
| 公告号 | CN222241416U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B07C5/02 |
| 权利人 | 应用材料公司 |
| 发明人 | 阿萨夫·施勒岑杰; 马库斯·J·施托佩尔 |
| 地址 | 美国加利福尼亚州 |
摘要文本
应用材料公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本文公开了一种基板分类器、一种具有所述基板分类器的检查和分类系统以及一种用于所述检查和分类系统的方法。基板分类器包括：环形夹持器，包含旋转器和围绕轴共圆地设置的多个真空施加器；载具，可操作以将基板朝向旋转器移动并且进入旋转器下方的装载区域；以及致动器，与环形夹持器耦接并且可操作以在多个真空施加器中的一个或多个抵靠旋转器固持基板的同时使旋转器相对于多个真空施加器围绕轴旋转。 数据由马 克 数 据整理
专利主权项内容
1.一种基板分类器，其特征是，包含：
环形夹持器，包含旋转器和围绕轴共圆地设置的多个真空施加器；
载具，可操作以将基板朝向所述旋转器移动到所述旋转器下方的装载区域中；以及
致动器，与所述环形夹持器耦接并且可操作以在所述多个真空施加器中的一个或多个抵靠所述旋转器固持所述基板的同时使所述旋转器相对于所述多个真空施加器围绕所述轴旋转。