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一种快排清洗槽

申请号: CN202420941113.0
申请人: 昆山宜昊设备科技有限公司
更新日期: 2026-05-05

摘要文本

昆山宜昊设备科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及晶圆清洗的技术领域,公开了一种快排清洗槽,包括水槽,水槽前后两侧面设置固定支架,水槽上方设置喷淋装置,喷淋装置包括喷淋管、固定板,两个喷淋管分别设置在水槽前后侧壁上方,喷淋管两端设置固定板,两个固定板分别设置在水槽左右两侧面上,喷淋管开设多个喷淋孔;水槽左侧面设置水阻箱,水阻箱内设置水阻计;水槽内设置过滤板并通过固定柱固定在水槽底面,水槽左侧面下方前后两端分别设置进水管,水槽底面设置两个排水阀。本实用新型中,喷淋管能在较短的时间内对晶圆表面进行清洗,也能够确保喷撒的溶液均匀覆盖整个晶圆表面,使得清洗更加彻底;均流板和均流孔使水能够均匀的流入水槽内,不会对晶圆直冲使晶圆发生碰撞。

专利主权项内容

1.一种快排清洗槽,其特征在于:包括水槽(1),所述水槽(1)前后两侧面设置固定支架(2),所述水槽(1)上方沿所述水槽(1)中心对称设置喷淋装置(3),所述喷淋装置(3)包括喷淋管(31)、固定板(32),两个所述喷淋管(31)分别设置在所述水槽(1)前后侧壁上方,所述喷淋管(31)两端设置固定板(32),两个所述固定板(32)分别固定设置在所述水槽(1)左右两侧面上,所述喷淋管(31)开设多个喷淋孔(33);所述水槽(1)左侧面设置水阻箱(4),所述水阻箱(4)内设置水阻计(5);所述水槽(1)内设置过滤板(6)并通过固定柱(7)固定在所述水槽(1)底面上,所述水槽(1)左侧面下方前后两端分别设置进水管(8),所述水槽(1)底面设置两个排水阀(9)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种快排清洗槽
专利类型 实用新型
申请号 CN202420941113.0
申请日 2024/5/5
公告号 CN222241595U
公开日 2024/12/27
IPC主分类号 B08B3/02
权利人 昆山宜昊设备科技有限公司
发明人 朱磊; 王从好
地址 江苏省苏州市昆山市玉山镇紫竹路1689号C幢一楼