一种氮化硅陶瓷基板的清洗装置

专利主权项内容

1.一种氮化硅陶瓷基板的清洗装置，包括清洗台(1)，其特征在于：所述清洗台(1)的上表面中间固定连接有安装架(2)，所述安装架(2)的上表面固定安装有电机(3)，所述电机(3)的输出轴端固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)贯穿所述安装架(2)的上表面，所述螺纹杆(4)与所述安装架(2)的内侧壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹杆(4)的外侧壁螺纹连接有螺母板(5)，所述螺母板(5)的左侧壁固定安装有电动缸(6)，所述电动缸(6)的活塞杆一端固定连接有安装板(7)，所述安装板(7)的上表面设有清洗喷头(8)，所述清洗台(1)的上表面右侧固定连接有清洗水箱(9)，所述清洗水箱(9)的上表面固定安装有水泵(10)，所述清洗水箱(9)的上表面与所述水泵(10)的进水口一端相连通，所述水泵(10)的出水口一端连通有软管(11)，所述软管(11)远离所述水泵(10)的一端与所述清洗喷头(8)相连通。