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一种全自动单晶硅棒清洗设备

申请号: CN202420115524.4
申请人: 无锡中环应用材料有限公司
更新日期: 2026-05-05

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种全自动单晶硅棒清洗设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202420115524.4
申请日 2024/1/16
公告号 CN222241636U
公开日 2024/12/27
IPC主分类号 B08B3/04
权利人 无锡中环应用材料有限公司
发明人 丁力; 成瑞娥; 尤飞; 吕健; 周瑜; 陈立柱; 姚毅; 李志伟; 唐彬彬
地址 江苏省无锡市宜兴市经济技术开发区东大道

摘要文本

无锡中环应用材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及单晶硅棒清洗设备技术领域,尤其涉及一种全自动单晶硅棒清洗设备。其技术方案包括用于盛放清洁液体的清洗池,所述清洗池的内部转动安装有用于对单晶硅棒擦拭冲洗的清洗喷淋组件;所述清洗喷淋组件的下方还安装有位于清洗池内部的传动组件,所述传动组件包括对单晶硅棒推动的推料板。所述清洗喷淋组件包括第一毛刷辊、第二毛刷辊和第三毛刷辊,所述第一毛刷辊和第二毛刷辊呈上下方位的坡度设置,所述第二毛刷辊与第一毛刷辊的一端设置有安装在清洗池外壁的驱动机构。本实用新型结构紧凑新颖,具备单晶硅棒的擦涂、冲淋、浸泡等全面清洁功能,清洁效果佳,效率高,自动化程度高。

专利主权项内容

1.一种全自动单晶硅棒清洗设备,包括用于盛放清洁液体的清洗池(1),其特征在于:所述清洗池(1)的内部转动安装有用于对单晶硅棒擦拭冲洗的清洗喷淋组件(2);
所述清洗喷淋组件(2)的下方还安装有位于清洗池(1)内部的传动组件(3),所述传动组件(3)包括对单晶硅棒推动的推料板(38)。。数据由整理