一种等离子除胶机

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深圳市东信高科自动化设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开一种等离子除胶机，涉及除胶机领域。该等离子除胶机包括机架主体，所述机架主体上设有下腔体座，所述机架主体上转动连接有上腔体座，所述上腔体座上设有工艺气体进气管，所述下腔体座的内部设有水冷电极，所述水冷电极的底部设有抽真空管路和水冷管路。该等离子除胶机除胶时，下腔体座和上腔体座腔体为圆形腔体，更加适用于晶圆除胶，而且等离子除胶属于干式去胶，大部分去胶工艺都适用，除胶更彻底、效率更快，采用圆形水冷电极，保证放电均匀性，等离子体产生更均匀，达到更好除胶效果，配合水冷连接组件，接通循环水，带走除胶过程中的热量，保证除胶效果。