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一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具
申请人信息
- 申请人:广东天域半导体股份有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼
- 发明人: 广东天域半导体股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323646489.3 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222241784U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B08B9/093 |
| 权利人 | 广东天域半导体股份有限公司 |
| 发明人 | 鲍勇年; 李迅; 李锡光 |
| 地址 | 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼 |
摘要文本
广东天域半导体股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，手持杆的一端与清洗头连接，清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，中间环形凹槽位于两个侧环形凹槽之间，中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，手持杆的轴向为中空结构，中空结构内设有真空管道和氩气管道。本实用新型能够对圆筒形石英钟罩的内壁进行擦拭、吸尘、气吹三个清洁功能合到一起，清洁覆盖面更全：与圆筒形石英钟罩的内壁具有更好的贴合性，能保证石英钟罩的清洁效果符合炉膛反应需求。 （）
专利主权项内容
1.一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，所述手持杆的一端与所述清洗头连接，其特征在于，所述清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，所述中间环形凹槽位于两个所述侧环形凹槽之间，所述中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个所述侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，所述手持杆的轴向为中空结构，所述中空结构内设有真空管道和氩气管道。