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一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置

申请号: CN202420955325.4
申请人: 千予半导体材料(江苏)有限公司
更新日期: 2026-05-05

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420955325.4
申请日 2024/5/6
公告号 CN222241816U
公开日 2024/12/27
IPC主分类号 B08B9/36
权利人 千予半导体材料(江苏)有限公司
发明人 陈凤林; 黄芳玲; 陈叁洋
地址 江苏省南通市启东市生命健康科技园金科路899号7幢206室

摘要文本

千予半导体材料(江苏)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置,涉及药液桶清洗技术领域,包括工作台和固定架,所述工作台的上表面中部固定连接有固定架,且固定架的侧面内部固定连接有基座,所述基座的内部固定连接有气缸,且气缸的输出端固定连接有活动板,所述活动板的内部螺纹连接有螺纹杆。该全自动半导体化学品药液桶清洗装置,与现有的普通清洗装置相比,将药液桶放置在工作台内部传送带上方后,移动到固定架下方,启动基座内部的气缸带动活动板向内移动,转动螺纹杆配合侧边的限位杆根据药液桶尺寸调节弧形板的位置,以此达到方便装置通过真空吸盘将药液桶固定在固定架正下方的目的,便于之后的清洗工作,且能够适用不同尺寸的药液桶。

专利主权项内容

1.一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置,包括工作台(1)和固定架(3),其特征在于,所述工作台(1)的上表面中部固定连接有固定架(3),且固定架(3)的侧面内部固定连接有基座(7),所述基座(7)的内部固定连接有气缸(9),且气缸(9)的输出端固定连接有活动板(10),所述活动板(10)的内部螺纹连接有螺纹杆(12),且螺纹杆(12)的输出端转动连接有弧形板(11),所述弧形板(11)的外表面固定连接有真空吸盘(13),且工作台(1)的内部设置有传送带(2), 所述固定架(3)的下方设置有清洗机构(23)。