一种清洗晶片用的工装

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安徽光智科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体生产辅助设备技术领域，尤其涉及一种清洗晶片用的工装。工装包括清洗面板，所述清洗面板上设置有至少一个夹具，夹具包括：固定块，至少一个固定块固定设置在清洗面板上；移动块，至少一个移动块滑动连接在清洗面板上；清洗面板上移动块和固定块围成的区域内设置有多个凸起，移动块通过移动推动放置在凸起上的待清洗晶片移动，将待清洗晶片固定在移动块和固定块之间。本实用新型采用多个凸起支撑晶片，通过在清洗面板上设置可移动的移动块，通过移动块的移动将晶片相对固定块固定，避免清洗过程中，晶片晃动。