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一种上下顺滑配合的圆晶研磨盘
申请人信息
- 申请人:苏州普斯恩精密机械有限公司
- 申请人地址:215127 江苏省苏州市工业园区唯亭科技园通和路50号
- 发明人: 苏州普斯恩精密机械有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种上下顺滑配合的圆晶研磨盘 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420811715.4 |
| 申请日 | 2024/4/18 |
| 公告号 | CN222243956U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B24B7/22 |
| 权利人 | 苏州普斯恩精密机械有限公司 |
| 发明人 | 唐亚松; 叶沐勇; 叶小东 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区唯亭科技园通和路50号 |
摘要文本
苏州普斯恩精密机械有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种上下顺滑配合的圆晶研磨盘，包括上研磨盘和下研磨盘，上研磨盘的上方设置有下研磨盘，上研磨盘的上侧面圆心处固定连接有连接轴，连接轴的上侧面环形外端固定连接有两个对称设置的导向套筒，下研磨盘的底面设置有下盘连接件，下研磨盘的上侧面固定连接有一体化设置的真空吸盘，还包括，导向装置，其设置在上研磨盘和下研磨盘之间，以及高度调节装置，其设置在下盘连接件的内腔中，本装置=通过精准对位的导向装置和间距调节装置，实现了高效、稳定的研磨，并满足不同规格圆晶的研磨需求，显著提升了研磨效率和质量。。数据由整理
专利主权项内容
1.一种上下顺滑配合的圆晶研磨盘，包括上研磨盘(1)和下研磨盘(2)，所述上研磨盘(1)的上方设置有下研磨盘(2)，其特征在于：所述上研磨盘(1)的上侧面圆心处固定连接有连接轴(3)，所述连接轴(3)的上侧面环形外端固定连接有两个对称设置的导向套筒(4)，所述下研磨盘(2)的底面设置有下盘连接件(5)，所述下研磨盘(2)的上侧面固定连接有一体化设置的真空吸盘(7)，还包括：
导向装置(18)，其设置在上研磨盘(1)和下研磨盘(2)之间，用于确保上下盘面保持稳定的相对位置；
高度调节装置(19)，其设置在下盘连接件(5)的内腔中，用于调节装置中上研磨盘(1)和下研磨盘(2)之间的距离。 详见官网：