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一种半导体研磨抛光装置
申请人信息
- 申请人:洛阳润宝人造金刚石有限公司
- 申请人地址:471000 河南省洛阳市西工区工业园区纬三路五号
- 发明人: 洛阳润宝人造金刚石有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体研磨抛光装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421044201.7 |
| 申请日 | 2024/5/14 |
| 公告号 | CN222244251U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B24B37/00 |
| 权利人 | 洛阳润宝人造金刚石有限公司 |
| 发明人 | 马珽; 刘胜杰 |
| 地址 | 河南省洛阳市西工区工业园区纬三路五号 |
摘要文本
洛阳润宝人造金刚石有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种半导体研磨抛光装置，它包括橡胶垫、基座和研磨抛光工作台，橡胶垫设置于基座底部四角，研磨抛光工作台设置于基座上端，研磨抛光工作台前端斜面分别设置有提示灯、控制开关、控制按键和显示屏，研磨抛光工作台上端外侧设置有密封橡胶条，密封橡胶条内侧设置有密封框，密封框上端中间设置有固定板，固定板另一侧下端设置有第一升降柱，第一升降柱设置于研磨抛光工作台后侧上端，研磨抛光工作台上端内侧设置有研磨抛光机构和研磨抛光液体罐，研磨抛光机构和研磨抛光液体罐呈左右分布，密封框后侧一角固定有抽气阀，抽气阀连接有伸缩软管；本实用新型具有使用方便、提高半导体研磨抛光的效率和质量的优点。
专利主权项内容
1.一种半导体研磨抛光装置，它包括橡胶垫(1)、基座(2)和研磨抛光工作台(3)，其特征在于：所述橡胶垫(1)设置于所述基座(2)底部四角，所述研磨抛光工作台(3)设置于所述基座(2)上端，所述研磨抛光工作台(3)前端斜面分别设置有提示灯(4)、控制开关(5)、控制按键(6)和显示屏(7)，所述研磨抛光工作台(3)上端外侧设置有密封橡胶条(14)，所述密封橡胶条(14)内侧设置有密封框(8)，所述密封框(8)上端中间设置有固定板(12)，所述固定板(12)另一侧下端设置有第一升降柱(11)，所述第一升降柱(11)设置于所述研磨抛光工作台(3)后侧上端，所述研磨抛光工作台(3)上端内侧设置有研磨抛光机构(9)和研磨抛光液体罐(13)，所述研磨抛光机构(9)和研磨抛光液体罐(13)呈左右分布。