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一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置
申请人信息
- 申请人:苏州迈为科技股份有限公司
- 申请人地址:215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
- 发明人: 苏州迈为科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420595698.5 |
| 申请日 | 2024/3/26 |
| 公告号 | CN222043331U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 发明人 | 李坤; 刘玉洲; 张永祺; 张永胜 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号 |
摘要文本
苏州迈为科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置，涉及蒸镀装置技术领域。本实用新型的蒸镀线源装置可以包括蒸镀容器、加热装置和保温装置。加热装置与蒸镀容器之间有间隙，因此加热装置并没有与蒸镀容器直接接触，而是通过热辐射的形式对蒸镀容器进行加热，避免因为加热装置的加热导致蒸镀容器的局部温度不均匀的情况。此外，本实用新型中加热装置外还设置保温装置，保温装置又分为多个保温单元，每个保温单元可以包括至少一个保温板，在对加热装置进行保温的同时，可以通过调节保温板的数量来调节该保温板对应位置的保温效果，从而可以进一步的提高温度的均匀性。
专利主权项内容
1.一种蒸镀线源装置，其特征在于，包括：
蒸镀容器，其内放置待蒸发物体；
加热装置，设置在所述蒸镀容器外周，并与所述蒸镀容器的外壁之间留有间隙，用于加热所述蒸镀容器，进而蒸发所述待蒸发物体；和
保温装置，包括多个并排设置在所述加热装置外侧的保温单元，每一所述保温单元包括至少一个保温板，通过调节所述保温板的数量来调节对应位置处的保温效果。