一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置

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中国科学院金属研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及金刚石膜生长设备领域，尤其涉及一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置。四根水冷电极垂直安置在沉积腔室底板上，前钼电极固定在一组水冷电极的上端，后钼电极固定在另一组水冷电极的上端，加热丝固定板固定在前钼电极底部；在沉积腔室底板上且靠近后钼电极的外侧依次设置隔热屏底座、绝缘板，隔热屏安装在隔热屏底座上，绝缘板固定在沉积腔室底板上，支架固定在绝缘板上，拉簧定位板固定于支架上，拉簧定位板依次通过拉簧、连接片与加热丝连接。本实用新型的加热丝为水平布局，多根加热丝的拉力一致性好，在高温环境中拉簧稳定性高，实现加热丝不断丝、不下垂，制备出的金刚石薄膜品质稳定、厚度均匀。