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一种进气装置及热炉
申请人信息
- 申请人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司
- 申请人地址:518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
- 发明人: 拉普拉斯新能源科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种进气装置及热炉 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323604242.5 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN222043343U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
| 发明人 | 常文平; 伍明辉; 梁笑; 张武 |
| 地址 | 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号 |
摘要文本
拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，来源： 本实用新型公开了一种进气装置及热炉，进气装置用于朝向热炉内部输入气体且支撑舟结构，进气装置包括进气件和支撑件，进气件位于热炉的炉口端，且穿设于热炉的侧壁，进气件用于朝向热炉内部输入气体，支撑件用于支撑舟结构，支撑件的两端分别与热炉的炉口端以及炉尾端相连，且支撑件与炉尾端相连的端部设置通气口，支撑件上沿其长度方向间隔设置有补气喷淋口，补气喷淋口与通气口连通。该进气装置能够确保炉管内气流均匀分布，确保硅片间的均匀性和一致性，提高工艺良率。
专利主权项内容
1.一种进气装置，其特征在于，所述进气装置用于朝向热炉内部输入气体且支撑舟结构，所述进气装置包括：
进气件，位于所述热炉的炉口端，且穿设于所述热炉的侧壁，所述进气件用于朝向所述热炉内部输入气体；
支撑件，用于支撑所述舟结构，所述支撑件的两端分别与所述热炉的炉口端以及炉尾端相连，且所述支撑件与所述炉尾端相连的端部设置通气口，所述支撑件上沿其长度方向间隔设置有补气喷淋口，所述补气喷淋口与所述通气口连通。