晶体生长炉

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浙江晶盛机电股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请公开了一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室和主炉室。提拉组件至少部分设置于机架上；副炉室由机架支撑并至少部分位于提拉组件的下侧；主炉室由机架支撑并至少部分位于副炉室的下侧；主炉室包括炉盖、连接法兰和下炉室，炉盖、连接法兰和下炉室从上至下依次连接；晶体生长炉还包括移动组件，移动组件包括具有转动自由度和升降自由度的第一移动机构、第二移动机构和第三移动机构，第一移动机构连接至炉盖，第二移动机构连接至连接法兰，第三移动机构连接至下炉室。通过上述设置，可以使得炉盖、连接法兰和下炉室单独拆装或维修，还能够便于炉盖、连接法兰和下炉室的单独清洗。