一种适用于8吋碳化硅外延的TCS控制系统

专利主权项内容

1.一种适用于8吋碳化硅外延的TCS控制系统，其特征在于：包括鼓泡器(1)，所述鼓泡器(1)与恒温水槽(2)相连接，所述鼓泡器(1)内设置有温度传感器(3)，所述温度传感器(3)用以实时检测鼓泡器(1)的温度变化，所述鼓泡器(1)连接有储液罐(4)，所述储液罐(4)用以给鼓泡器(1)补液，鼓泡器(1)连接有第一浓度监测器(6)，第一浓度监测器(6)与第二质量流量计(8)连接，第一浓度监测器(6)、第二质量流量计(8)均与第一PZC控制器(5)连接，第二质量流量计(8)分别连接有第一质量流量计(7)和压力计(10)，第二质量流量计(8)连接有第二浓度监测器(11)，第二质量流量计(8)与第二浓度监测器(11)均与第二PZC控制器(9)连接，第二浓度监测器(11)分别连接有第一边路质量流量计(12)、第二边路质量流量计(14)和中路质量流量计(13)，第一质量流量计(7)和第二质量流量计(8)为并联结构，第一浓度监测器(6)和第二浓度监测器(11)以检测TCS浓度变化，形成反馈系统，第一边路质量流量计(12)、第二边路质量流量计(14)和中路质量流量计(13)均与反应腔(15)连接。