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一种用于半导体生产的特殊气体处理设备
申请人信息
- 申请人:上海良薇机电工程有限公司
- 申请人地址:201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室
- 发明人: 上海良薇机电工程有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于半导体生产的特殊气体处理设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323510920.1 |
| 申请日 | 2023/12/22 |
| 公告号 | CN222047748U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | F23G7/06 |
| 权利人 | 上海良薇机电工程有限公司 |
| 发明人 | 纪雪峰; 郭晋禛 |
| 地址 | 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室 |
摘要文本
上海良薇机电工程有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种用于半导体生产的特殊气体处理设备，包括气体供应单元、燃烧单元、排气单元、喷雾单元、供液单元和蓄液单元。其优点在于，通过将气体供应单元和燃烧单元连通，使得废气、压缩空气和天然气在燃烧单元内混合得到混合气体，从而可保证废气充分燃烧；此外，还通过设置喷雾单元，使得喷雾单元可对燃烧单元处理后的气体进行水汽溶解及降温，从而可将经过燃烧单元处理后的气体中的有害物质吸附在水流中，使得第一排气管路的出气端所排气处的气体符合排放标准。
专利主权项内容
1.一种用于半导体生产的特殊气体处理设备，其特征在于，包括：
气体供应单元，所述气体供应单元用于供应废气、压缩空气和天然气，并将废气、压缩空气和天然气混合得到混合气体；
燃烧单元，所述燃烧单元与所述气体供应单元连通，用于容纳混合气体并使得混合气体燃烧，以产生高温气体；
排气单元，所述排气单元与所述燃烧单元连通，用于排放高温气体；
喷雾单元，所述喷雾单元分别设置于所述燃烧单元的出气口、所述排气单元的出气口，用于对高温气体进行水汽溶解以及降温；
供液单元，所述供液单元与所述喷雾单元、所述燃烧单元连通，用于分别向所述喷雾单元、所述燃烧单元供液；
蓄液单元，所述蓄液单元分别与所述燃烧单元、所述供液单元连通，用于存储所述喷雾单元产生的液体。