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一种催化燃烧装置、系统及半导体尾气处理工艺系统
申请人信息
- 申请人:上海良薇机电工程有限公司
- 申请人地址:201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室
- 发明人: 上海良薇机电工程有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种催化燃烧装置、系统及半导体尾气处理工艺系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323528617.4 |
| 申请日 | 2023/12/22 |
| 公告号 | CN222047753U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | F23G7/07 |
| 权利人 | 上海良薇机电工程有限公司 |
| 发明人 | 刘巧俊; 纪雪峰; 查安生 |
| 地址 | 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室 |
摘要文本
上海良薇机电工程有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种催化燃烧装置、系统及半导体尾气处理工艺系统，催化燃烧装置包括进气单元、预热单元、催化单元、第一燃烧单元和第二燃烧单元；进气单元的输入端与进气装置连接；预热单元的输入端与进气单元的输出端连接；催化单元设置于预热单元的内部，且位于预热单元的输出端；第一燃烧单元的输入端与预热单元的输出端连接；第二燃烧单元设置于第一燃烧单元的外部，并与排气装置连接。其优点在于，通过在第一燃烧单元的上游设置预热单元和催化单元，使废气可以在较低的温度下被氧化并可以燃烧充分，解决了燃烧处理废气氧气浓度过高或过低、可燃物浓度不够、为了安全燃烧室温度不够导致燃烧不充分从而污染物净化不彻底等问题。
专利主权项内容
1.一种催化燃烧装置，用于半导体生产的尾气处理，其特征在于，包括：
进气单元，所述进气单元的输入端与进气装置连接，用于获取进气装置传输的废气；
预热单元，所述预热单元的输入端与所述进气单元的输出端连接，用于预热由所述进气单元输入的尾气；
催化单元，所述催化单元设置于所述预热单元的输出端的内部，且位于所述预热单元的，用于对进入所述预热单元的尾气进行催化处理；
第一燃烧单元，所述第一燃烧单元的输入端与所述预热单元的输出端连接，用于对经所述催化单元进行催化处理的尾气进行第一加热处理，以使尾气被分解；
第二燃烧单元，所述第二燃烧单元的输入端与所述第一燃烧单元的输出端连接，所述第二燃烧单元的输出端与排气装置连接，用于对经所述第一燃烧单元进行第一加热处理的尾气进行第二加热处理，以使尾气转化为无害气体。