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一种用于半导体制造的加热装置
申请人信息
- 申请人:航能芯热(太仓)科技有限公司
- 申请人地址:215400 江苏省苏州市太仓市北京西路6号创业中心东楼202室
- 发明人: 航能芯热(太仓)科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于半导体制造的加热装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420426476.0 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN222048078U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | F24H3/00 |
| 权利人 | 航能芯热(太仓)科技有限公司 |
| 发明人 | 胡阁; 刘长江 |
| 地址 | 江苏省苏州市太仓市北京西路6号创业中心东楼202室 |
摘要文本
航能芯热(太仓)科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及加热装置技术领域，尤其涉及一种用于半导体制造的加热装置。其技术方案包括加热腔室，所述加热腔室顶部设有排气腔室，所述加热腔室内设有隔热台，所述隔热台上固定安装有电热板，所述隔热台上设有进气口，所述加热腔室内滑动安装有升降板，所述升降板一侧设有用于夹持晶圆的夹持组件。本实用新型实现了能够消除由于晶圆翘曲所造成的受热不均匀问题，同时能够控制晶圆在加热过程中距离电热板高度的作用，由此可以调节晶圆的受热程度，按要求对晶圆进行热处理，并避免晶圆在升降过程中发生偏移导致晶圆加热不均匀。
专利主权项内容
1.一种用于半导体制造的加热装置，包括加热腔室(1)，所述加热腔室(1)顶部设有排气腔室(2)，其特征在于，还包括：
设在所述加热腔室(1)内的隔热台(6)，所述隔热台(6)上固定安装有电热板(15)，所述隔热台(6)上设有进气口(601)；
滑动安装在所述加热腔室(1)内的升降板(8)，所述升降板(8)一侧设有用于夹持晶圆的夹持组件。 微信公众号马克 数据网