密封门冷却系统及半导体设备

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上海积塔半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本公开提供了一种密封门冷却系统，包括：气冷管路、气源、排风装置和工艺联动控制器。气冷管路设置于工艺腔室的密封门上；气源连通气冷管路的进气管路；排风装置连通气冷管路的排气管路；工艺联动控制器设置于进气管路上，被配置为：响应于工艺控制信号导通或截断气冷管路的气流。本公开用于提高工艺良率，降低设备维修成本。