炉体及工艺炉

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赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种炉体及工艺炉，涉及半导体设备技术领域，该炉体包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构。炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口，密封机构设置于炉管朝向炉口的一端，炉门通过密封机构与炉管相连并通过密封机构密封炉口，两个第一支撑机构在垂直于第一方向的第二方向上间隔排布，炉管位于两个第一支撑机构之间，两个支撑机构用于与工艺炉的主体部相连，两个第一支撑机构用于支撑炉管，从而能够降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率，提高了炉体的使用稳定性以及使用寿命。