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一种用于检测硅片位置的检测装置

申请号: CN202323548440.4
申请人: 苏州世点领自动化科技有限公司
更新日期: 2026-05-11

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种用于检测硅片位置的检测装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202323548440.4
申请日 2023/12/26
公告号 CN222048890U
公开日 2024/11/22
IPC主分类号 G01B11/00
权利人 苏州世点领自动化科技有限公司
发明人 祝伟; 俞进宁; 华健
地址 江苏省苏州市吴中区甪直镇淞河路1号

摘要文本

苏州世点领自动化科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开的属于检测技术领域,具体为一种用于检测硅片位置的检测装置,包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头,还包括:用于带动摄像头进行多方位移动的移动组件,且移动组件上安装摄像头,用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件,且清理组件设在移动组件上,所述移动组件包括:固定板,所述箱体固定安装在固定板的顶部上,所述伺服电机固定安装在箱体的内壁上,本实用新型通过设置清理组件,具有能够实现对硅片上的杂质进行清理的作用,通过对硅片上的杂质进行清理,不仅能够增加检测装置的功能,提高实用性,还能够实现在对硅片位置检测的同时,还能够对硅片进行清理,在一定程度上提高了对硅片的加工效率。

专利主权项内容

1.一种用于检测硅片位置的检测装置,包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头(10),其特征在于,还包括:
用于带动摄像头(10)进行多方位移动的移动组件,且移动组件上安装摄像头(10);
用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件,且清理组件设在移动组件上。