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一种用于检测硅片位置的检测装置
申请人信息
- 申请人:苏州世点领自动化科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇淞河路1号
- 发明人: 苏州世点领自动化科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于检测硅片位置的检测装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323548440.4 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN222048890U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | G01B11/00 |
| 权利人 | 苏州世点领自动化科技有限公司 |
| 发明人 | 祝伟; 俞进宁; 华健 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区甪直镇淞河路1号 |
摘要文本
苏州世点领自动化科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开的属于检测技术领域,具体为一种用于检测硅片位置的检测装置,包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头,还包括:用于带动摄像头进行多方位移动的移动组件,且移动组件上安装摄像头,用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件,且清理组件设在移动组件上,所述移动组件包括:固定板,所述箱体固定安装在固定板的顶部上,所述伺服电机固定安装在箱体的内壁上,本实用新型通过设置清理组件,具有能够实现对硅片上的杂质进行清理的作用,通过对硅片上的杂质进行清理,不仅能够增加检测装置的功能,提高实用性,还能够实现在对硅片位置检测的同时,还能够对硅片进行清理,在一定程度上提高了对硅片的加工效率。
专利主权项内容
1.一种用于检测硅片位置的检测装置,包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头(10),其特征在于,还包括:
用于带动摄像头(10)进行多方位移动的移动组件,且移动组件上安装摄像头(10);
用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件,且清理组件设在移动组件上。