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一种晶圆胶带切割刀片用清洁装置

申请号: CN202420895880.2
申请人: 争丰半导体科技(苏州)有限公司
更新日期: 2026-05-11

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种晶圆胶带切割刀片用清洁装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420895880.2
申请日 2024/4/28
公告号 CN222220404U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 B08B1/12
权利人 争丰半导体科技(苏州)有限公司
发明人 郭易; 周鹏程; 刘乾峰
地址 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房

摘要文本

争丰半导体科技(苏州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种晶圆胶带切割刀片用清洁装置,包括底板,底板的上方设有毛刷清扫机构,毛刷清扫机构的前侧罩设有上盖板,底板的下方设有储料盒,储料盒的侧边设有排风机构;毛刷清扫机构包含第一固定板、电机、第一同步带轮、第二同步带轮、第三同步带轮、第四同步带轮和同步带,第三同步带轮连接有第一毛刷,第四同步带轮连接有第二毛刷,上盖板上设有切刀孔。本实用新型的有益效果是:通过毛刷清扫机构能够对切割刀片进行滚刷清扫,通过排风机构能够将清洁切割刀片时产生的颗粒物抽出至该清洁装置外侧;该清洁装置实现了切割刀片的自动清洁,效率高,减少了设备的停机次数,节省人工,同时不会出现人员伤害。

专利主权项内容

1.一种晶圆胶带切割刀片用清洁装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上方设有毛刷清扫机构(2),所述毛刷清扫机构(2)的前侧罩设有上盖板(3),所述底板(1)的下方设有储料盒(4),所述储料盒(4)的侧边设有排风机构(5);所述毛刷清扫机构(2)包含竖直固定于底板(1)后侧的第一固定板(201),所述第一固定板(201)的后侧设有电机(202),所述电机(202)的输出轴向前穿过第一固定板(201)并连接有第一同步带轮(203),所述第一同步带轮(203)的上方设有第二同步带轮(204),所述第一同步带轮(203)和第二同步带轮(204)的中间左侧设有第三同步带轮(205)和第四同步带轮(206),所述第三同步带轮(205)和第四同步带轮(206)左右设置,所述第一同步带轮(203)、第二同步带轮(204)、第四同步带轮(206)和第三同步带轮(205)均转动安装于第一固定板(201)上且顺序连接有同步带(208),所述第一同步带轮(203)、第二同步带轮(204)和第三同步带轮(205)均位于同步带(208)的内侧,所述第四同步带轮(206)位于同步带(208)的外侧,所述第三同步带轮(205)连接有第一毛刷(210),所述第四同步带轮(206)连接有第二毛刷(212),所述第一毛刷(210)和第二毛刷(212)并排设置于上盖板(3)内,所述第一毛刷(210)和第二毛刷(212)的刷面滚动接触,所述上盖板(3)上设有切刀孔(301),所述切刀孔(301)位于第一毛刷(210)和第二毛刷(212)的中间正上方。 微信公众号马克 数据网