镜片清洗装置

摘要文本

吉林麦吉柯半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例提供一种镜片清洗装置，涉及半导体制造技术领域。装置包括溶液槽及容置篮，所述溶液槽用于盛装清洗溶液，容置篮用于放置待清洗镜片，可以将装有待清洗镜片后的容置篮放置于溶液槽内浸泡清洗。容置篮包括多个限位凹槽及隔离板，其中，可以通过拆卸安装隔离板调节相邻隔离板之间的间距，相邻隔离板之间的空间用于放置所述待清洗镜片。通过限位凹槽和可拆卸的隔离板的相互配合，可以灵活地调整放置待清洗镜片的空间，可以有效地分隔待清洗镜片，确保每一待清洗镜片都能够充分暴露于清洗溶液中，解决因镜片层叠导致的清洗不净问题，提高清洗效率。此外，利用溶液槽盛装清洗溶液，可以对清洗溶液进行循环利用，减少生产成本。