一种多工位抛光机

专利主权项内容

1.一种多工位抛光机，其特征在于，包括：
箱体(1)；
抛光机本体(2)，所述抛光机本体(2)固定安装于所述箱体(1)的顶部；
带式输送机(3)，所述带式输送机(3)安装于所述箱体(1)内壁的两侧之间，所述带式输送机(3)的输送带上构造有放置槽(31)；
安装板(4)，数量为两个，两个所述安装板(4)呈对称分布固定安装于所述箱体(1)的顶部；
清洁设备(5)，所述清洁设备(5)安装于两个所述安装板(4)之间，其用于对硅片进行清洁，所述清洁设备(5)包括固定安装于两个所述安装板(4)之间的固定柱(51)，两个所述安装板(4)之间转动安装有转动轴(52)，其中一个所述安装板(4)的一侧固定安装有伺服电机(53)，所述转动轴(52)的一端贯穿其中一个所述安装板(4)与所述伺服电机(53)的输出端固定连接，两个所述安装板(4)之间呈对称分布转动安装有两个转动轮(54)，所述固定柱(51)的外表面套设有无尘布(55)，所述无尘布(55)与两个所述转动轮(54)的外表面接触，并与所述转动轴(52)的外表面固定连接，两个所述安装板(4)之间安装有用于带动所述无尘布(55)振动的振动组件(6)，所述振动组件(6)位于两个所述转动轮(54)之间。