一种晶圆研磨装置
申请人信息
- 申请人:新疆鸿升照明科技有限公司
- 申请人地址:844000 新疆维吾尔自治区喀什地区喀什经济开发区综合保税区C03地块4号厂房101室中国(新疆)自由贸易试验区(喀什片区)
- 发明人: 新疆鸿升照明科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆研磨装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421606698.7 |
| 申请日 | 2024/7/9 |
| 公告号 | CN222222231U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | B24B37/10 |
| 权利人 | 新疆鸿升照明科技有限公司 |
| 发明人 | 黎阳; 柴能 |
| 地址 | 新疆维吾尔自治区喀什地区喀什经济开发区综合保税区C03地块4号厂房101室中国(新疆)自由贸易试验区(喀什片区) |
摘要文本
新疆鸿升照明科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及研磨装置技术领域，具体为一种晶圆研磨装置，包括工作台，所述工作台的上表面开设有容纳槽，所述容纳槽的内部右侧壁固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部安装有真空吸盘。本实用新型工作时将晶圆工件放在真空吸盘上，借助真空吸盘将晶圆工件吸附固定，电动缸的活塞杆一端伸长带动研磨板贴合晶圆工件，研磨电机带动研磨板转动对晶圆工件进行研磨操作，输送泵抽取研磨液并借助喷头喷向晶圆工件的研磨处，被研磨下的颗粒将混在研磨液中一起落下容纳槽，颗粒物被滤板滤下，研磨液通过滤板落在容纳槽底部，实现研磨液中液体与颗粒物的分离，回流泵将研磨液抽取送回研磨液箱进行重复利用，实现对研磨液的回收，避免资源浪费。
专利主权项内容
1.一种晶圆研磨装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上表面开设有容纳槽(2)，所述容纳槽(2)的内部右侧壁固定连接有支撑架(3)，所述支撑架(3)的顶部安装有真空吸盘(4)，所述真空吸盘(4)的上表面吸附有晶圆工件(5)，所述工作台(1)的上表面后侧固定连接有固定架(6)，所述固定架(6)的内侧壁顶壁安装有电动缸(7)，所述电动缸(7)的活塞杆一端固定连接有升降板(8)，所述升降板(8)的下表面安装有研磨电机(9)，所述研磨电机(9)的输出轴一端固定连接有研磨板(10)，所述容纳槽(2)的内侧壁固定连接有滤板(11)，所述滤板(11)呈左高右低倾斜设置，所述工作台(1)的左侧壁上部固定连接有支撑板(12)，所述支撑板(12)的上表面分别安装有研磨液箱(13)和输送泵(14)，所述工作台(1)的上表面左侧固定连接有支杆(15)，所述支杆(15)的顶端固定连接有喷头(16)，所述工作台(1)的左侧壁下部固定连接有固定板(17)，所述固定板(17)的上表面安装有回流泵(18)，所述回流泵(18)的进液口一端与所述工作台(1)的左侧壁下部之间连接有抽液管(19)，所述抽液管(19)与所述容纳槽(2)连通，所述回流泵(18)的出液口一端与所述研磨液箱(13)的前表面顶部之间连通有回流管(20)。