载架及加工装置

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杭州天睿精密科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种载架及加工装置，涉及半导体加工技术领域。该载架包括载梁和两个支架，支架设有Z向驱动件，Z向驱动件连接有连接座，连接座通过转动轴转动连接有转动座，转动轴沿Y向延伸；载梁沿X向延伸并连接于两个转动座之间，且载梁X向的至少一端作为滑移端与相应转动座的顶部沿X向滑接。该加工装置包括工作台和上述载架，载架安装于工作台，载架的载梁连接有加工组件。该载架能够保证对工作面上零部件的加工精确度及一致性，且滑移端与相应转动座形成的滑移转动机构的结构稳定性较高，且能够稳定承载载梁及其上的加工组件，从而确保滑移转动机构的稳定运行以及载梁的方位稳定性，相应确保加工装置的稳定运行。