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一种反应室升降装置
申请人信息
- 申请人:上海高笙集成电路设备有限公司
- 申请人地址:200000 上海市浦东新区康桥路957号12幢3层
- 发明人: 上海高笙集成电路设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种反应室升降装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421144329.0 |
| 申请日 | 2024/5/23 |
| 公告号 | CN222225824U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | B66F3/46 |
| 权利人 | 上海高笙集成电路设备有限公司 |
| 发明人 | 崔汉宽; 程勇 |
| 地址 | 上海市浦东新区康桥路957号12幢3层 |
摘要文本
上海高笙集成电路设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种反应室升降装置，包括：出气端、气缸和固定板，所述出气端与多个固定板固定连接，多个固定板绕出气端做圆周均匀排布，每个固定板与至少一个气缸的活塞杆固定连接，所述气缸的缸体与机架固定连接。本实用新型通过气缸驱动出气端和反应室运动，需要拆卸的部件大大减少，且不需要将进气端和出气端等从设备上拆下，也避免了重新连接管路，解决了现有的反应室拆卸费时费力、有安全风险的问题。
专利主权项内容
1.一种反应室升降装置，其特征在于，包括：出气端(1)、气缸(2)和固定板(11)，所述出气端(1)与多个固定板(11)固定连接，多个固定板(11)绕出气端(1)做圆周均匀排布，每个固定板(11)与至少一个气缸(2)的活塞杆(22)固定连接，所述气缸(2)的缸体(21)与机架(4)固定连接。