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一种镀膜硅片加热设备

申请号: CN202420853538.6
申请人: 江苏阳铭互联智能系统有限公司
更新日期: 2026-05-14

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种镀膜硅片加热设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202420853538.6
申请日 2024/4/23
公告号 CN222226520U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 C23C14/24
权利人 江苏阳铭互联智能系统有限公司
发明人 申舰
地址 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区越溪街道吴中大道2599号2幢2楼

摘要文本

江苏阳铭互联智能系统有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请涉及一种镀膜硅片加热设备,其包括主体,所述主体内形成有加热腔;还包括加热机构,所述加热机构包括加热板单体和加热组件,所述加热板单体设置有多个,相邻两个所述加热板单体相互抵触,多个所述加热板单体处于同一水平面上,且多个所述加热板单体均位于所述加热腔内;每个所述加热板单体上均设置有所述加热组件。本申请具有节约资源的效果。

专利主权项内容

1.一种镀膜硅片加热设备,包括主体(1),所述主体(1)内形成有加热腔(14);其特征在于,还包括加热机构(2),所述加热机构(2)包括加热板单体(21)和加热组件(22),所述加热板单体(21)设置有多个,相邻两个所述加热板单体(21)相互抵触,多个所述加热板单体(21)处于同一水平面上,且多个所述加热板单体(21)均位于所述加热腔(14)内;每个所述加热板单体(21)上均设置有所述加热组件(22)。