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一种镀膜硅片加热设备
申请人信息
- 申请人:江苏阳铭互联智能系统有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区越溪街道吴中大道2599号2幢2楼
- 发明人: 江苏阳铭互联智能系统有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种镀膜硅片加热设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420853538.6 |
| 申请日 | 2024/4/23 |
| 公告号 | CN222226520U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 江苏阳铭互联智能系统有限公司 |
| 发明人 | 申舰 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区越溪街道吴中大道2599号2幢2楼 |
摘要文本
江苏阳铭互联智能系统有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请涉及一种镀膜硅片加热设备,其包括主体,所述主体内形成有加热腔;还包括加热机构,所述加热机构包括加热板单体和加热组件,所述加热板单体设置有多个,相邻两个所述加热板单体相互抵触,多个所述加热板单体处于同一水平面上,且多个所述加热板单体均位于所述加热腔内;每个所述加热板单体上均设置有所述加热组件。本申请具有节约资源的效果。
专利主权项内容
1.一种镀膜硅片加热设备,包括主体(1),所述主体(1)内形成有加热腔(14);其特征在于,还包括加热机构(2),所述加热机构(2)包括加热板单体(21)和加热组件(22),所述加热板单体(21)设置有多个,相邻两个所述加热板单体(21)相互抵触,多个所述加热板单体(21)处于同一水平面上,且多个所述加热板单体(21)均位于所述加热腔(14)内;每个所述加热板单体(21)上均设置有所述加热组件(22)。