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一种射频平面阴极
申请人信息
- 申请人:中科纳微真空科技(合肥)有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层
- 发明人: 中科纳微真空科技(合肥)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种射频平面阴极 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323229586.2 |
| 申请日 | 2023/11/29 |
| 公告号 | CN222226525U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 中科纳微真空科技(合肥)有限公司 |
| 发明人 | 任小体; 刘远畅 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层 |
摘要文本
中科纳微真空科技(合肥)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种射频平面阴极，阴极组件上设有多个射频接口，射频接电端头分别与多个射频接口连接，且射频接电端头至任一射频接口之间阻抗相等。通过上述优化设计的射频平面阴极，通过射频接电端头至接电点阻抗相等，使得射频功率在阴极组件上均匀分布，使得接电点可获得相同电压等电位点，保证靶材利用率的同时，大大提高镀膜的均匀性。
专利主权项内容
1.一种射频平面阴极，其特征在于，包括：阴极组件和射频接电端头(1)；
阴极组件包括阴极基座(11)、磁路(15)和靶材(17)，阴极基座(11)一侧设有多个射频接口，磁路(15)和靶材(17)安装在阴极基座(11)远离所述射频接口一侧，磁路(15)位于靶材(17)和阴极基座(11)之间；
射频接电端头(1)安装在阴极基座(11)上且分别与多个射频接口连接，且射频接电端头(1)至任一射频接口之间阻抗相等。