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薄膜沉积装置
申请人信息
- 申请人:甬矽电子(宁波)股份有限公司
- 申请人地址:315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号
- 发明人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 薄膜沉积装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421040491.8 |
| 申请日 | 2024/5/14 |
| 公告号 | CN222226536U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
| 发明人 | 何正鸿; 李奎奎; 姜滔; 王森民 |
| 地址 | 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号 |
摘要文本
甬矽电子(宁波)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种薄膜沉积装置，涉及半导体工艺设备技术领域。该薄膜沉积装置包括晶圆平台和加热平台，晶圆平台靠近加热平台的一面设有容置槽，加热平台可拆卸连接于容置槽内，且加热平台与晶圆平台相向设置的一面呈面接触，加热平台用于对晶圆平台加热。该薄膜沉积装置能够在加热装置发生损坏时便于维修，能够降低薄膜沉积装置的维修成本。
专利主权项内容
1.一种薄膜沉积装置，其特征在于，包括晶圆平台和加热平台，所述晶圆平台靠近所述加热平台的一面设有容置槽，所述加热平台可拆卸连接于所述容置槽内，且所述加热平台与所述晶圆平台相向设置的一面呈面接触，所述加热平台用于对所述晶圆平台加热。