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一种PVD用粉尘收集器
申请人信息
- 申请人:苏州德耐纳米科技有限公司
- 申请人地址:215100 江苏省苏州市吴中区甪直镇东庄路168号6幢
- 发明人: 苏州德耐纳米科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种PVD用粉尘收集器 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421038022.2 |
| 申请日 | 2024/5/14 |
| 公告号 | CN222226544U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/56 |
| 权利人 | 苏州德耐纳米科技有限公司 |
| 发明人 | 黄桃; 范玉山; 闫春明; 蒋智情 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区甪直镇东庄路168号6幢 |
摘要文本
苏州德耐纳米科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种PVD用粉尘收集器，其包括：固定底板，所述固定底板为金属结构，所述固定底板上端固定连接有粉尘存储盒，所述粉尘存储盒为金属结构，所述粉尘存储盒内部设置有加热内罩，所述加热内罩内部放置有收集粉尘；后端通气板，所述后端通气板中间段设置有水汽通孔，所述后端通气板固定连接在粉尘存储盒后端，所述水汽通孔与加热内罩正对，所述加热内罩后端设置有通气孔。通过在粉尘存储盒内部设置加热内罩，并且与加热电机接通，完成对内部湿度较高的粉尘进行加热工作。通过在粉尘存储盒的后端设置带有水汽通孔的后端通气板，与加热内罩的通气孔正对，完成对内部蒸发水汽的排出。
专利主权项内容
1.一种PVD用粉尘收集器其特征在于，包括：
固定底板(1)，所述固定底板(1)为金属结构，所述固定底板(1)上端固定连接有粉尘存储盒(2)，所述粉尘存储盒(2)为金属结构，所述粉尘存储盒(2)内部设置有加热内罩(16)，所述加热内罩(16)内部放置有收集粉尘；
后端通气板(10)，所述后端通气板(10)中间段设置有水汽通孔(11)，所述后端通气板(10)固定连接在粉尘存储盒(2)后端，所述水汽通孔(11)与加热内罩(16)正对，所述加热内罩(16)后端设置有通气孔(17)。