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补液装置以及电镀铜设备
申请人信息
- 申请人:上海积塔半导体有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号
- 发明人: 上海积塔半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 补液装置以及电镀铜设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420281646.0 |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN222226634U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C25D21/14 |
| 权利人 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 发明人 | 苏显月; 拉海忠; 闫晓晖 |
| 地址 | 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号 |
摘要文本
上海积塔半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种补液装置以及电镀铜设备，所述补液装置包括依次连接的补液罐、存液检测单元以及取液罐；所述存液检测单元内设置有第一浓度传感器和浮球，所述浮球上浮时将所述存液检测单元与所述取液罐的管路堵住；所述取液罐内设置有第二浓度传感器。本实用新型的补液装置可以通过存液检测单元和取液罐的溶液浓度判断添加如补液罐的添加剂是否正确，避免错误的添加剂进入与电镀液罐相连通的取液罐，从而提高电镀铜设备镀铜的质量，提高加工后晶圆的良率，降低半导体器件的成本。 更多数据：
专利主权项内容
1.一种补液装置，其特征在于，包括依次连接的补液罐、存液检测单元以及取液罐；
所述存液检测单元内设置有第一浓度传感器和浮球，所述浮球上浮时将所述存液检测单元与所述取液罐的管路堵住；
所述取液罐内设置有第二浓度传感器。