一种晶体直拉生长设备用免维护真空系统

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江苏福旭科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶体直拉生长设备用免维护真空系统，其包括：单晶炉、真空泵和过滤装置，所述过滤装置包括筒体、浮动环和滤网，所述筒体底部设置有第一管接头，所述单晶炉与第一管接头之间设置有第一管道，所述筒体顶部设置有盖板，所述盖板上设置有第二管接头，所述真空泵与第二管接头之间设置有第二管道，所述筒体中上下间隔设置有第一限位块和第二限位块，所述浮动环同心设置在筒体中并位于第一限位块和第二限位块之间，所述浮动环顶部同心设置有圆柱形笼体，所述滤网套设在圆柱形笼体的外侧。本实用新型所述的晶体直拉生长设备用免维护真空系统，实现了对单晶炉的抽真空以及滤网的自动维护。