单晶炉

专利主权项内容

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体包括主炉室，所述主炉室内包括：
坩埚，所述坩埚外侧设有埚帮，所述埚帮底部外侧设有底加热器；
主加热器，所述主加热器的发热区与所述坩埚的上部分相对应，沿周向设于所述埚帮的外侧，所述主加热器的脚板延伸至所述单晶炉的炉底；
保温桶，套设在所述加热器和所述炉体内壁之间，沿第一方向上所述保温桶包括上保温桶、中保温桶和下保温桶，所述第一方向为所述单晶炉顶部指向所述单晶炉底部的方向，沿第二方向，所述中保温桶和所述下保温桶与所述埚帮相对应，所述第二方向与所述第一方向相交；
辅助保温结构，位于所述埚帮与所述保温桶之间，沿所述第一方向上，位于所述主加热器靠近所述单晶炉炉底的一侧；所述辅助保温结构包括两个独立对称设置的弧形板，所述主加热器的脚板位于两个所述弧形板之间，所述弧形板远离所述主加热器的一侧包括镂空区；
所述炉体的底部包括导气孔，从所述主炉室顶部进入的氩气经过所述镂空区和所述导气孔排出。